Mit einer neuen Spatial ALD-Anlage kann das LZH ab jetzt auch komplex geformte Optiken gleichmäßig beschichten. Die innovative Anlage erzielt höhere Auftragsraten als bisher möglich – und ist unter anderem für Anwendungen im Automotive Lighting- oder auch VR/AR-Bereich interessant.
Mithilfe der ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition) lassen sich sehr dünne, qualitativ hochwertige Schichten herstellen. Bisher wird das ALD-Verfahren vor allem genutzt, um zum Beispiel dünne Funktionsschichten in der Halbleiterindustrie herzustellen. Die in Kooperation mit der Firma Beneq neu-entwickelte Spatial-ALD-Anlage des LZH macht nun eine weitere, industriell stark nachgefragte Anwendung wirtschaftlich: Mit ihr können die Wissenschaftler:innen der Gruppe Optik-Integration am LZH viel schneller als bisher Schichtsysteme gleichmäßiger Dicke zum Beispiel auf stark gekrümmten und strukturierten Optiken herstellen. Bisher verwendete Methoden, wie die Elektronenstrahlverdampfung oder das Ionenstrahlsputtern sind hier stark limitiert.
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