Die EUV-Lithographie ermöglicht Chips für modernste Smartphones und automatisiertes Fahren. Als weltweit führende Fertigungstechnologie stärkt sie die deutsch-europäische Position im globalen Halbleitergeschäft. Ein Forscher-Team bestehend aus Experten von ZEISS, TRUMPF und Fraunhofer wurde jetzt für ihr Projekt „EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter“ von Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet.
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